Исследователи Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали метод формирования наноструктур из кремния, используя наносферную литографию и плазмохимическое травление. Установка, созданная ими, почти полностью основана на российских компонентах. Эта технология позволяет снизить стоимость производства солнечных элементов на 30%.